Bruekr사 QUANTAX EDS
EDS Hardware 특징
1. 액체질소를 사용하지 않은 LN2 free type (SDD)
- 장기적으로 볼 때 액체질소에 대한 유지보수비 절감효과가 있다.
- Detector 안정화 시간이 짧다. (액체질소 타입 : 약 1 시간, Bruker EDS : 약 30 초)
- 액체질소 취급시 화상 등으로부터 사용자가 안전하다.
2. Energy resolution 129eV
- 일반적으로 EDS detector 의 성능은 Mn Ka 의 FWHM 에너지 값으로 표현된다.
- Energy resolution 값이 낮을수록 경량원소에서 피크 중첩이 나타나지 않는다.
3. EDS Detector active area 10mm 2
- X-ray signal 수집을 위한 Detector size
4. Mn Ka 100,000cps 까지 일정한 resolution 유지
- 짧은 시간 내에 많은 에너지가 detector 에 들어가면 일반적으로 resolution 이 실제 성능보다 떨어지게 된다.
Bruker 제품은 100,000 cps 까지 동일한 resolution 을 보장한다.
5. 측정원소 범위 : B(5)부터 Am(95)까지
- 원소번호 5 번 B 부터 95 번 Am 까지 검출이 가능하다.
EDS 소프트웨어 기능
소프트웨어 기능 (Mapping analysis)
브루커는 주사 전자 현미경을 위한 에너지 분산 분광 분석법의 성능과 기능에 대한 기준을 설정합니다.
QUANTAX EDS 의 새로운 세대는 10 ~ 100mm2 의 활성 영역과 XFlash® 6 검출기 시리즈를 갖추고 있습니다.
새로운 6 세대는 가장 빠르고 신뢰성있는 결과를 제공하기 위해 하드웨어 및 소프트웨어 기술을 제공합니다 :
• 시간 절약 - 새로운 슬림 라인 디텍터, 넓은 면적의 SDD, 고성능
펄스처리 기술이 작업을 더 빨리 끝낼 수 있습니다.
• 작업 효율성 – 모터로 움직이는 디텍터와 경량 디자인은 작업을 더 쉽게 할 수 있도록 도움
• 더 나은 정밀도 제공- 최고의 에너지 해상도는 정확한 분석을 위해 최고 품질의 스펙트럼 제공
• 더 나은 신뢰성을 확보 - 세계에서 가장 포괄적인 데이터베이스는 가장 신뢰할 수 있는 낮은
에너지 피크(경원소) 식별을 보장
• 더 나은 정확도 – 정량에서 가장 정교한 알고리즘 및 standardless and standard-based 방법의
고유한 조합을 통해 높은 정확도 결과를 제공
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