EDS가 탑재된 MiniSEM 주사전자현미경

Table Top SEM (EM-30 AX)

특 장점

1. SEM-EDS 일체형 모델

2. 사용하기 쉬운 인터페이스

3. 완벽한 수준의 오토기능

  - 샘플스테이지 Full Auto사용

  - 높은 수준의 

     Auto Focus/Contarst/Brightness/

     Gun Alignment기능제공

4. 최대 넓이 70mm, 높이 45mm의 

   시료 측정이 가능한 큰 챔버

5. 최대 x100,000배까지 촬영가능

6. 시료교체시간 2분 이내의 빠른 교체 가능

EM-30AX 스펙 정보 

EM-30AX (SE+BSE 이미지 Merge) BSE 옵션사항

Ion Coater (전처리 장비)

Ion Coater Model : SPT-20

•  Au & Pt 를 이용해 시료를 코팅
•  Charge-up 현상을 방지하기 위함
•  시료에 전자 빔이 직접 닿는 것을 방지
•  열에  견딜 수 있는 내구성 생성
•  시료의 축소와 팽창을 방지
•  이차전자가 많이 발생하여 좋은 영상 구현

EDS Hardware 특징 

 1. 액체질소를 사용하지 않은 LN2 free type (SDD)

- 장기적으로 볼 때 액체질소에 대한 유지보수비 절감효과가 있다.

- Detector 안정화 시간이 짧다. (액체질소 타입 : 약 1 시간, Bruker EDS : 약 30 초)

- 액체질소 취급시 화상 등으로부터 사용자가 안전하다.

2. Energy resolution 129eV

- 일반적으로 EDS detector 의 성능은 Mn Ka 의 FWHM 에너지 값으로 표현된다.

- Energy resolution 값이 낮을수록 경량원소에서 피크 중첩이 나타나지 않는다.

3. EDS Detector active area 10mm 2

- X-ray signal 수집을 위한 Detector size

4. Mn Ka 100,000cps 까지 일정한 resolution 유지

- 짧은 시간 내에 많은 에너지가 detector 에 들어가면 일반적으로 resolution 이 실제 성능보다 떨어지게 된다.

Bruker 제품은 100,000 cps 까지 동일한 resolution 을 보장한다.

5. 측정원소 범위 : B(5)부터 Am(95)까지

- 원소번호 5 번 B 부터 95 번 Am 까지 검출이 가능하다.

EDS 소프트웨어 기능

EDS 소프트웨어 기능 (Mapping analysis)

옵션사항 (BSE Detector)